
在真空技術領域,從大氣壓到高真空的寬范圍壓力測量一直是工業(yè)與科研應用中的核心需求。日本佐藤真空(SATOVAC)推出的CR-1N潘寧真空計,憑借其冷陰極放電原理、無燈絲燒毀風險的堅固設計以及模擬式直觀操作,為各類真空設備提供了一款可靠耐用的測量工具。
CR-1N是佐藤真空“SATOVAC"系列中的臺式潘寧真空計(冷陰極電離真空計),采用模擬顯示方式,專為中高真空區(qū)域的穩(wěn)定測量而設計。該產品以結構簡單、堅固耐用著稱,適用于工業(yè)和研究領域的各類真空設備。
其核心技術參數如下:
| 參數 | 指標 |
|---|---|
| 測量范圍 | 8×10?1 ~ 1×10?3 Pa(單量程) |
| 壓力單位 | Pa(帕斯卡) |
| 測量元件 | D-31M型,φ15 mm規(guī)口安裝 |
| 記錄儀輸出 | 滿量程10 mV |
| 電源電壓 | AC100V 50/60Hz |
| 功耗 | 9 VA |
| 外形尺寸 | W185 × D185 × H120 mm |
| 重量 | 2.9 kg |
CR-1N采用冷陰極放電(Penning放電) 原理進行真空測量。與熱陰極電離真空計不同,冷陰極真空計不需要加熱燈絲來產生電子,而是利用磁場中的氣體放電現象。
其工作原理是:在測量元件內,電子在正交電磁場作用下沿螺旋路徑運動,與氣體分子碰撞產生電離。離子電流的大小與氣體壓力成正比,通過測量離子電流即可確定真空度。
這一原理帶來顯著優(yōu)勢:即使在大氣壓下開啟設備,也不會發(fā)生燈絲燒毀的問題,大大增強了設備的耐受性和可靠性。
傳統熱陰極電離真空計依賴高溫燈絲發(fā)射電子,在意外暴露于大氣壓或高壓氣體時,燈絲極易氧化燒毀。CR-1N采用冷陰極放電技術,消除了這一風險,用戶無需擔心操作失誤導致傳感器損壞。
CR-1N配備D-31M型測量元件,其磁鐵采用特殊合金材料,實現了以下特性:
緊湊輕量:整體結構小巧,便于安裝
可清洗設計:測量元件在受污染后可進行清洗維護,延長使用壽命
結構簡單:無易損燈絲部件,故障率低
作為一款模擬型真空計,CR-1N采用傳統的指針式顯示方式,具有以下特點:
操作直觀:無需復雜菜單設置,旋鈕調節(jié)簡單明了
狀態(tài)一目了然:指針擺動直觀反映壓力變化趨勢
堅固可靠:無數字顯示屏易損問題,適合工業(yè)環(huán)境
設備配備滿量程10 mV的記錄儀輸出,可連接外部記錄設備或數據采集系統,實現真空度數據的長期記錄與監(jiān)控。
佐藤真空提供豐富的真空計產品線,以滿足不同測量范圍和精度需求:
| 產品系列 | 型號 | 測量范圍 | 顯示方式 | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| 潘寧真空計 | CR-1N | 8×10?1~1×10?3 Pa | 模擬 | 中高真空通用測量 |
| 冷陰極離子計 | CR-D8A | 5.0×10?1~1×10?? Pa | 數字 | 更高真空度要求 |
| 皮拉尼真空計 | PG-D5A | 1×10?~1.3×10?1 Pa | 數字 | 低真空至中真空 |
| 皮拉尼真空計 | PG-2BM | 2×103~2×10?1 Pa | 模擬 | 傳統模擬需求 |
| 電離真空計 | IG-D7A | 9.9×10?2~1×10?? Pa | 數字 | 高真空至超高真空 |
用戶可根據具體的測量范圍、精度要求和操作習慣選擇最合適的機型。
CR-1N憑借其堅固耐用的特點,廣泛應用于以下領域:
真空鍍膜設備:監(jiān)控鍍膜過程中的真空度變化
電子束焊接:確保焊接腔體的真空環(huán)境
真空熱處理爐:實時監(jiān)測爐內壓力
半導體制造設備:濺射、蒸發(fā)等工藝的真空監(jiān)控
科研實驗裝置:表面分析儀、質譜儀、電子顯微鏡等
冷凍干燥設備:監(jiān)測干燥過程中的真空狀態(tài)
測量元件D-31M采用φ15 mm規(guī)口安裝,需確保接口密封良好
設備應放置于平穩(wěn)臺面,避免震動影響測量精度
清潔周期:根據使用環(huán)境和氣體類型,定期檢查測量元件污染情況
清洗方法:測量元件可拆卸清洗,恢復性能
環(huán)境要求:吸入氣體溫度10~40°C,環(huán)境濕度75%以下
處理腐蝕性氣體、可燃氣體、粉末或水蒸氣時需提前咨詢
頻繁暴露于大氣壓與真空交替狀態(tài)時需注意維護
佐藤真空(SATOVAC)是日本佐藤工業(yè)株式會社的真空產品品牌,擁有豐富的真空計產品線,從大氣壓(101 kPa)到高真空(1×10?? Pa)均有覆蓋。產品涵蓋數字型和模擬型,用戶可根據規(guī)格、環(huán)境和使用便利性選擇最合適的機型。
作為真空技術領域的專業(yè)制造商,佐藤真空的產品在半導體、電子、食品工業(yè)及科研領域得到廣泛應用。
日本佐藤PHIL CR-1N潘寧真空計將冷陰極放電的可靠性、模擬操作的簡便性以及堅固耐用的結構設計融為一體,為中高真空區(qū)域的測量提供了一款值得信賴的工具。無論是工業(yè)真空設備的日常監(jiān)控,還是科研實驗中的真空度測量,CR-1N都能以其無燈絲燒毀風險的優(yōu)勢和穩(wěn)定的測量性能,成為真空系統長期運行的可靠保障。